全球半导体维持高增长，设备销售额创历史新高
　　2021Q1全球半导体行业维持高增长。http://www.hibor.com.cn【慧博投研资讯】2021Q1，全球半导体销售额累计为1206.5亿美元，同比+15.2%/环比+2.6%；全球设备销售额为235.7亿美元，同比+51.4%/环比+21.1%，创历史新高。http://www.hibor.com.cn（慧博投研资讯）半导体设备出货额维持高位，北美设备制造商出货额连续6个月实现正增长，2021年4月升至34.1亿美元，同比+49.5%。行业高增长主要系下游需求高涨导致。需求端，智能手机出现结构性回调，但PC、汽车以及IoT仍旧拉动下游需求持续上扬，推动行业实现高增长。
　　供给端仍处紧张状态，资本支出上修利好设备厂商
　　目前半导体行业产能整体仍处在紧张状态，根据最新披露的各公司一季报，中芯国际产能利用率为98.7%，华虹半导体则升至104.2%，产能利用率仍旧维持高位。
　　资本开支上修利好设备厂商。台积电上调21年资本开支至300-310亿美元，2021Q1实际支出为88.4亿美元，同比+38.3%。随着晶圆厂不断上调资本开支，叠加半导体设备的国产化率提升，我们认为国产厂商或将充分收益。
　　外部形式变好，国产化上升空间大，进口替代逻辑逐步兑现
　　国产化率上升空间大。2020年中国大陆半导体设备销售额占全球市场26.3%，超越中国台湾，成为全球第一大市场，但国内半导体设备自制率仍较低，2020年国产化率仅为约16%。
　　外部形势变好，核心制程环节设备公司获益。中微半导体设备（上海）股份有限公司发布公告称，公司9日早获悉，美国国防部将AdvancedMicro-Fabrication Equipment Inc. （简称“AMEC”）从中国涉军企业名单中删除。说明头部设备公司未来在业务拓展，人才储备，产品出口等未来将会更加便利。
　　中微和北方华创均处于快速发展期。（1）中微公司：不断在客户验证更多成熟工艺和先进工艺，在CCP和ICP刻蚀方面的应用拓展都取得了良好进展。尤其值得关注的是ICP的进展顺利。（2）北方华创：2019~2020年，北方华创12英寸硅刻蚀机、金属PVD、立式氧化/退火炉、湿法清洗机等多款高端半导体设备相继进入量产，2020年下游客户需求旺盛，高端设备营收同比增长，成熟工艺设备突破新工艺，新工艺产品陆续进入客户验证或量产，产品频获客户重复采购订单。
　　看好清洗设备率先国产化，主要系其技术门槛较低，短时间内容易实现突破。根据至纯科技2020年报，2020年公司单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过了30台。单片式湿法设备新增订单金额超过3.6亿元。
　　检测设备赛道好，国产化空间大。下游封测厂增加资本开支，持续扩产利好设备商。2020年11月通富微电定增32.5亿元，用以集成电路封测及车载品封测项目；2021年1月华天科技发布公告募集资金51亿元用于扩大产能；2021年4月长电科技定增50亿元用于扩产，可以预见扩产会伴随大量的设备采购。
　　投资建议：重点推荐【中微公司】进入全球供应链的国产刻蚀设备龙头；【北方华创】多业务布局的晶圆设备龙头；重点推荐【至纯科技】，国内清洗设备龙头，2020全年槽式设备+单片设备出货30台，目前处于产能扩张阶段；重点推荐【华峰测控】半导体测试设备龙头；建议关注【华兴源创】半导体测试设备新进入者。
　　风险提示：晶圆厂扩产不及预期；设备国产化不及预期。